◆机能特色:
小型化及可装配化设想,很是便于照顾及讲授。
激光检测头和样品扫描台集成一体,布局很是不变,抗搅扰性强。
紧密探针定位装配,激光光斑瞄准调理很是简洁。
单轴驱动样品主动垂直靠近探针,使针尖垂直于样品扫描。
马达节制加压电陶瓷主动探测的智能进针体例,掩护探针及样品。
主动光学定位,无需调焦,及时察看与定位探针样品扫描地区。
弹簧吊挂式防震体例,简略适用,防震结果好。
集成扫描器非线性校订用户编辑器,纳米表征和丈量精度优于98%。
◆丈量规模及利用:
丈量规模:二维、三维、Z值、相位、外表描摹、粗拙度、膜厚、描摹、相位。
利用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、份子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗拙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 利用案例 Application Case
序号 | 称号 | 手艺参数 |
01 | 任务形式 | 小扣形式、RMS-Z曲线 |
02 | 选配形式 | 打仗、磨擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 |
03 | 选配力曲线 | F-Z力曲线 |
04 | XY扫描规模 | 20×20um,可选50×50um,100×100um |
05 | Z扫描规模 | 2.5um,可选5um,10um |
06 | 扫描分辩率 | 横向0.2nm,纵向0.05nm |
07 | 样品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm |
08 | 样品台路程 | 15×15mm |
09 | 光学察看 | 4X光学物镜/2.5um分辩率 |
10 | 扫描速度 | 0.6Hz~30Hz |
11 | 扫描角度 | 0~360° |
12 | 运转情况 | Windows XP/7/8/10操纵体系 |
13 | 通讯接口 | USB2.0/3.0 |
14 | 减震设想 | 弹簧吊挂体例 |
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